（一） 真空概念

“真空”是指在指定空間內(nèi)低于環(huán)境大氣壓力的氣體狀態(tài)，也就是該空間內(nèi)氣體分子數(shù)密度低于該地區(qū)大氣壓的氣體分子數(shù)密度。不同的真空狀態(tài)，就意味著該空間具有不同的分子數(shù)密度。在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)（STP：即0°C，101325Pa）下，氣體的分子數(shù)密度為2.6870×1025m-3，而在真空度為1×m-4Pa時(shí)，氣體的分子數(shù)密度只有2.65×1016m-3。

完全沒有氣體的空間狀態(tài)成為絕對真空。絕對真空實(shí)際上時(shí)不存在的。

（二） 真空度及測量單位

在真空技術(shù)中常用真空度來度量真空狀態(tài)下空間氣體的稀薄程度。通常真空度用氣體的壓力值來表示。壓力值越高，真空度越低；壓力值越低，真空度越高。

常用的壓力單位有：

①帕斯卡（Pa）：國際單位制中的壓力單位，我國法定壓力單位。1Pa壓力就是1m2面積上作用1N的力，即

1Pa=1N/㎡

②微巴（μbar）：1μbar的壓力就是1cm2面積上作用1dyn的力，即

1μbar=1dyn/cm2

③標(biāo)準(zhǔn)大氣壓（atm）：1927年在第七次國際計(jì)量大會上，給標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下了定義，即在重力加速度為980.665cm/s2，水銀溫度為0°C，水銀密度為13.5951g/cm³的條件下，760mm高的汞柱產(chǎn)生的壓力稱為1atm，即

1atm=760mmHg=1013250.144354dyn/cm2

這種標(biāo)準(zhǔn)大氣壓依賴于汞的密度測量精度，是不夠嚴(yán)格的。

1954年在第十次國際計(jì)量大會上，又重新定義了標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，即

1atm=1013250dyn/cm2=101325Pa

④工程大氣壓（at）：由于大氣壓力約為1kgf/cm2，所以把1kgf/cm2稱為1at，即

1at=1kgf/c㎡

⑤毫米汞柱（mmHg）：1mmHg是指0°C時(shí)1mm高水銀柱（汞柱）作用在1cm2面積上的力。由于純水銀0°C時(shí)的密度是13.5951g/cm3，所以

1mmHg=13.5951g/cm2

⑥托（Torr）：1Torr定義為

1Torr=1/760atm

由于1927年與1954年定義的標(biāo)準(zhǔn)大氣壓有差值，因而造成1mmHg比1Torr大1.9×10-4dyn/cm2，即

1mmHg=1Torr+1.9×10-4dyn/cm2

但由于兩者差值很小，故通常認(rèn)為

1mmHg≈1Torr

⑦英寸汞柱（inHg）：英制壓力單位，它是1英寸高水銀柱作用在1cm2面積上的力，即

1inHg=25.4mmHg

⑧普西（Psi）：英制壓力單位，它是1平方英寸面積上作用1磅的力，即

1Psi=1lb/in2

⑨真空度的百分?jǐn)?shù)（δ%）：用真空度的百分?jǐn)?shù)表示壓力的大小，一般只有在壓力高于100Pa時(shí)才采用。真空度的百分?jǐn)?shù)為

δ%=[(1×105-p)/(1×105)]×100%

式中 p——以Pa作單位時(shí)的壓力數(shù)值。

  已知真空度的百分?jǐn)?shù)，可用下式求氣體壓力p

p=1×105（1-δ/100 ）

 真空區(qū)域劃分

 為實(shí)用上便利起見，人們常把真空度粗劃為幾個(gè)區(qū)段，根據(jù)GB/T3163—93，真空區(qū)域大致劃分如下

低真空  105Pa～102Pa                             中真空    102Pa～10-1Pa

高真空 10-1Pa～10-5Pa                            超高真空  ＜10-9Pa